デンソー
小間番号
1S-K13
1S-K13
希土類酸化物薄膜エレクトレットを用いた、MEMS(Microelectro Mechanical systems)振動発電デバイスを開発しています。この材料は、車載デバイスへの応用を目指しており、高い表面電位と耐熱性を両立します。エレクトレット薄膜の表面電位は世界最高レベルの～1000V、この材料を用い超小型のMEMS振動発電機を開発中です。
製品・サービス情報
新製品
デモ
ブース内プレゼン
エレクトレットは電荷を長期間保持できる材料です。東京理科大学とデンソーが共同開発した希土類酸化物エレクトレットは、高い耐熱性・耐久性と世界最高レベルの表面電位（薄膜約1000V、バルク約7000V）を実現。この材料を用い、神戸大学と共同で超小型MEMS振動発電デバイスを開発し、電池交換不要な無線センサシステムの実現を目指しています。
製品・サービスカテゴリー
材料
電子・磁性・金属・無機材料
加工機械・装置 / 評価・検査
微細加工(前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー等）
デバイス
車載センサー
MEMSマイク
物理センサ(圧力・加速度・ジャイロ)
アクチュエーター
エネルギーハーベスティング、マイクロエネルギー源
次世代センサー
アプリケーション
環境・エネルギー
情報通信・IT
健康・医療
グリーンセンサ・ネットワーク
スマート・モニタリングシステム
応用分野
電子・磁性・金属・無機材料
半導体・電子部品
精密機器・産業機械・ロボット
自動車・運輸
電気・電子機器・総合電機
課題別ソリューション
センシング
省人化・自動化・最適化
SDGs
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
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