田口電機工業
小間番号
1S-F15-7
1S-F15-7
シンクロトロン光X線を利用するLIGA微細精密めっき加工技術
医療・半導体・自動車・食品などで、マイクロマシン・MEMSなどを構成する部品や金型製造において、LIGA微細加工技術を応用し、シンクロトロン放射光X線を使用して、フォトリソグラフィー技術によりミクロ・ナノサイズの複雑な三次元構造体マイクロパーツや医療用X線グリッド、食品異物検査用X線デバイス、マイクロモールド、マイクロセンサーなどを高精度のめっき加工によって製造可能にしたLIGA微細加工技術を展示します。
製品・サービス情報
新製品
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サンプル
シンクロトロン光X線リソグラフィ技術によるレジスト構造体に精密電鋳めっき加工を行い、高アスペクト(20:1以上)の金属めっき構造体(ギヤ歯車など)を製造した超微小パーツ。
製品・サービスカテゴリー
加工機械・装置 / 評価・検査
微細加工(前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー等）
微細加工(後工程、実装・パッケージング)
加工機械・技術(機械加工、放電加工、メッキ、電鋳他）
ナノインプリント
デバイス
車載センサー
RF-MEMS
光MEMS(ディスプレー、スキャナー等)
MEMSミラー
次世代センサー
フレキシブルセンサー
アプリケーション
情報通信・IT
航空・宇宙
ロボット
IoTアプリケーション
5G/6G、次世代通信機器
自動車、自動運転
サービス・ビジネスモデル
試作・受託加工サービス
受託評価・計測・分析サービス
MEMSファンドリー
ナノ・マイクロ研究・試作拠点
応用分野
電子・磁性・金属・無機材料
半導体・電子部品
精密機器・産業機械・ロボット
航空・宇宙
医療機器
電気・電子機器・総合電機
繊維・窯業・紙・パルプ
医療・医薬品
食品・飲料
表面処理加工業
電力・ガス・石油・その他エネルギー
大学・研究機関
課題別ソリューション
次世代通信
次世代電池
省人化・自動化・最適化
生産性向上
企業価値向上
新製品
資料PDF
サンプル
シンクロトロン光X線リソグラフィによるLIGA微細めっき加工技術により、がん検診やレントゲン装置用の放射線被曝量を低減可能とする新型X線グリッドの開発を行っている。
製品・サービスカテゴリー
加工機械・装置 / 評価・検査
微細加工(前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー等）
プリンテッドエレクトロニクス
微細加工(後工程、実装・パッケージング)
加工機械・技術(機械加工、放電加工、メッキ、電鋳他）
ナノインプリント
デバイス
車載センサー
RF-MEMS
次世代センサー
フレキシブルセンサー
アプリケーション
情報通信・IT
航空・宇宙
ロボット
IoTアプリケーション
5G/6G、次世代通信機器
自動車、自動運転
サービス・ビジネスモデル
試作・受託加工サービス
MEMSファンドリー
ナノ・マイクロ研究・試作拠点
応用分野
電子・磁性・金属・無機材料
半導体・電子部品
精密機器・産業機械・ロボット
自動車・運輸
航空・宇宙
医療機器
電気・電子機器・総合電機
繊維・窯業・紙・パルプ
医療・医薬品
食品・飲料
表面処理加工業
電力・ガス・石油・その他エネルギー
大学・研究機関
課題別ソリューション
次世代通信
センシング
次世代電池
省人化・自動化・最適化
生産性向上
企業価値向上
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
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