4S-C04
【加工】プロセスゾーン
シンクロトロン光X線を利用するLIGA微細精密めっき加工技術
医療・半導体・自動車・食品などで、マイクロマシン・MEMSなどを構成する部品や金型製造において、LIGA微細加工技術を応用し、シンクロトロン放射光X線を使用して、フォトリソグラフィー技術によりミクロ・ナノサイズの複雑な三次元構造体マイクロパーツや医療用X線グリッド、食品異物検査用X線デバイス、マイクロモールド、マイクロセンサーなどを、高精度のめっき加工によって製造可能にしたLIGA微細加工技術を展示します。
シンクロトロン光X線リソグラフィ技術によるレジスト構造体に精密電鋳めっき加工を行い、高アスペクト(20:1以上)の金属めっき構造体(ギヤ歯車など)を製造した超微細パーツ
シンクロトロン光X線リソグラフィによるLIGA微細めっき加工技術により、がん検診やレントゲン装置用の放射線被曝量を低減可能とする新型X線グリッドの開発を行っている。
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