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田口電機工業
小間番号
4S-C04
出展ゾーン
【加工】プロセスゾーン

シンクロトロン光X線を利用するLIGA微細精密めっき加工技術

医療・半導体・自動車・食品などで、マイクロマシン・MEMSなどを構成する部品や金型製造において、LIGA微細加工技術を応用し、シンクロトロン放射光X線を使用して、フォトリソグラフィー技術によりミクロ・ナノサイズの複雑な三次元構造体マイクロパーツや医療用X線グリッド、食品異物検査用X線デバイス、マイクロモールド、マイクロセンサーなどを、高精度のめっき加工によって製造可能にしたLIGA微細加工技術を展示します。


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シンクロトロン光X線リソグラフィ技術によるレジスト構造体に精密電鋳めっき加工を行い、高アスペクト(20:1以上)の金属めっき構造体(ギヤ歯車など)を製造した超微細パーツ

07-マイクロパーツ.jpg
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製品・サービスカテゴリー
ナノ材料
ナノ粒子 複合材料(ナノコンポジット) 抗菌材料(金属ナノ粒子など)
ナノ評価・計測・分析・設計
X線・放射光計測
加工プロセス
ナノインプリント 次世代リソグラフィー ナノ積層造形(3Dプリンタ)・ナノ積層フィルム
ディープテック
量子センシング 先端材料(極限環境材料、宇宙用機器、温度制御材料) AI・ビヨンド5G(テラヘルツ無線通信、衛星、研究開発用生成AI) カーボンニュートラル技術(核融合発電、CO2活用技術) バイオ技術(バイオものづくり、ニューモダリティー) 農業技術(農業用広域センサー、微生物検出)
応用分野
材料・素材
電気的機能材料(電導・誘電・半導体材料など) フォトニクス材料(EL、LED、液晶、光ディスクなど) 高性能磁性材料 精密めっき フィルム/シート
IT&エレクトロニクス
5G/6G関連技術 光デバイス MEMS/マイクロマシン ロボティクス ウェアラブルデバイス
自動車
軽量化材料 車載センサー
環境・エネルギー
水素エネルギー 光触媒
バイオ・ライフ分野
抗菌・抗ウイルス材料 再生医療材料 ヘルスケア バイオセンサー 医薬品 医療・診断機器 ウェアラブルデバイス 化粧品加工技術
その他
農業分野 航空・宇宙分野 情報・通信分野
課題別ソリューション
次世代通信 センシング 次世代電池 省人化・自動化・最適化 生産性向上 企業価値向上

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シンクロトロン光X線リソグラフィによるLIGA微細めっき加工技術により、がん検診やレントゲン装置用の放射線被曝量を低減可能とする新型X線グリッドの開発を行っている。

X線グリッド.jpg
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ナノ粒子 複合材料(ナノコンポジット) 抗菌材料(金属ナノ粒子など)
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ナノインプリント 次世代リソグラフィー ナノ積層造形(3Dプリンタ)・ナノ積層フィルム
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電気的機能材料(電導・誘電・半導体材料など) フォトニクス材料(EL、LED、液晶、光ディスクなど) 高性能磁性材料 精密めっき フィルム/シート
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下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

出展者名
田口電機工業
研究開発係
住所
〒 841-0201
佐賀県 佐賀県三養基郡基山町小倉399
TEL
0942-92-2811
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