I-PEX
小間番号
1S-G12
1S-G12
単結晶圧電薄膜成膜技術とMEMS加工技術をご紹介
単結晶圧電薄膜（PZT、窒化アルミニウム（AlN））成膜基板の展示、圧電MEMSの受託加工サービス内容の紹介、真空蒸着装置、MEMS技術で開発したデバイス（ニオイセンサ）の展示及びデモンストレーションを行う予定です。是非ともご来場の上、お立ち寄りください。
製品・サービス情報
資料PDF
サンプル
優れた単結晶圧電薄膜の成膜技術により開発したZrO2 Buffer（下地層）を使用することで、上に成膜する様々な圧電材料を単結晶化し、高性能化することができる優れた圧電MEMS用ウエハー。
PZT（チタン酸ジルコン酸鉛）、窒化アルミニウム（AlN）を展示予定。
製品・サービスカテゴリー
材料
その他機能性材料/素材
：
（和文）単結晶ウエハー
応用分野
半導体・電子部品
光学部品・デバイス
課題別ソリューション
センシング
圧電MEMS試作から量産までの受託加工、特定のMEMS加工工程など、ご要望に応じて柔軟な対応が可能です。
製品・サービスカテゴリー
加工機械・装置 / 評価・検査
微細加工(前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー等）
サービス・ビジネスモデル
MEMSファンドリー
応用分野
半導体・電子部品
光学部品・デバイス
自動車・運輸
課題別ソリューション
資料PDF
サンプル
ZrO2バッファー層成膜用蒸着装置です。
当社ZrO2バッファー層成膜装置を使用し、シリコン基板上にバッファー層を成膜することで、その上に成膜するその他の圧電材料を単結晶に成長することが可能となります。
製品・サービスカテゴリー
加工機械・装置 / 評価・検査
微細加工(前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー等）
応用分野
半導体・電子部品
光学部品・デバイス
課題別ソリューション
センシング
資料PDF
デモ
サンプル
ニオイを測定するMEMSデバイスです。
圧電薄膜PZTを応用したして開発されたニオイセンサ。
最新製品のnoseStickBBではBluetooth接続に対応し、Battery駆動によって携帯性に優れたモデルです。
専用アプリケーションのデモも体験いただけます。
製品・サービスカテゴリー
デバイス
バイオセンサ・バイオ分析
物理センサ(圧力・加速度・ジャイロ)
アクチュエーター
化学センサ(温湿度、ガスセンサー)
次世代センサー
においセンサ
応用分野
分析・計測機器
化粧品・トイレタリー
食品・飲料
電力・ガス・石油・その他エネルギー
大学・研究機関
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
出展者名
I-PEX
技術開発統括部 SPG
技術開発統括部 SPG
住所
〒 222-0033
神奈川県 横浜市港北区新横浜2-3-12 新横浜スクエアビル11F
神奈川県 横浜市港北区新横浜2-3-12 新横浜スクエアビル11F
TEL
045-472-7111
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