半導体は、DX・GX、経済安全保障の観点で極めて重要である。経済産業省では半導体・デジタル産業戦略検討会議を定期的に開催し、2026年６月に「半導体・デジタル産業戦略」を改訂した。本講演では、最近の政策動向について紹介する。

東北大学と他３大学・民間企業7社は、次世代エッジAI半導体プロジェクトで3Dヘテロ集積技術を開発している。ダイまたは材料のレベルで異要素を接合する技術、応力や熱を制御する技術は、MEMS技術に繋がるところが大きい。また、次世代エッジAI半導体とMEMSはフィジカルAIの実現に向けて共に発展する関係にある。

カーボンニュートラルの実現に向けて、CCUS（Carbon Capture, Utilization and Storage）関連技術の開発が進められている。また、社会インフラの安全性・信頼性向上に向けたセンシング技術の重要性も高まっている。本講演では、東芝独自の小型・高速応答MEMS熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガス濃度計測技術と、CCUSおよびインフラレジリエンス分野における応用事例を紹介する。